先端研究施設共用イノベーション創出事業 　　　　　シリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援 　　　-- 文部科学省ナノテクノロジー・ネットワークプロジェクト-- 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　更新日 平成21年12月10日

　 　

広島大学では、これまで第一期のナノテクノロジー総合支援を、平成14年度から18年度の5年間実施してきました。これまでに、企業、大学、財団等、約100件の支援を実施し、その成果の中には、ものづくり大賞優秀賞受賞に繋がったもの、学会賞を受賞したものなどがあり、日本のナノテクノロジーの発展に少なからず貢献できたものと自負しております。 平成19年度からは、高品質真空利用技術において実績のある山口大学と共同で、第2期ナノテク支援を「シリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援」という形で実施しています。

● ナノテクノロジー・ネットワーク プロジェクト
　　　シリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関す支援について

文部科学省のナノテクノロジー・ネットワークプロジェクトの一環として、 広島大学（ナノデバイス・バイオ融合科学研究所・先端物質科学研究科）と山口大学（産学公連携・イノベーション推進機構）の連携で、シリコンを主体とする超微細構造形成のための支援を行っています。
　広島大学（ナノデバイス・バイオ融合科学研究所・先端物質科学研究科）では、シリコンナノ加工を主な支援対象とし、クラス10のスーパークリーンルームと、その中に設置された30nm以下の超微細トランジスタが製作できる 装置一式を本支援事業に利用します。電子線描画装置、プラズマエッチャー、イオン注入装置などを活用するとともに、ナノ構造形成プロセスおよびそれを利用した超微細デバイスに関する技術相談にも応じています。 　また、第1期のナノテク支援（2002-2006）では主にシリコン材料のみが支援対象でありましたが、社会の要請にあわせて、シリコンベースの他の材料（シリコン基板上に集積できる材料、例えば電気光学材料、磁気光学材料等）も加工できる装置を整備しつつあり、これらも活用しています。更にはバイオテクノロジ関連の支援も実施しています。
　山口大学（産学公連携・イノベーション推進機構）では、高品質真空利用技術を主な支援対象とし、クリーンルーム等に設置された電子線描画装置、マスクアライナ、イオンビームエッチング装置などの一連の微細加工装置一式を支援に利用します。これに加えて、教員が個々に管理している新方式の対向ターゲット式スパッタ装置や電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）スパッタ装置など、高品質で高清浄な真空環境のもとで高品質な多層薄膜材料の作成とデバイス試作のための微細加工を可能にする装置類、さらに高品質な真空環境を実現するための真空材料の開発や真空コンポーネントの開発に必要な超高感度ガス放出速度測定装置などを支援に利用します。山口大学では、シリコン材料系ではなく、非シリコン系材料、すなわち超伝導材料、誘電体材料、磁性体材料などを、支援対象としているます。
　　　　

● お問い合わせ先	● 主な支援装置： 　広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
窓口責任者は広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所となりますので下記までご連絡ください。 ・窓口責任者：福山　正隆(主任)、横山　新(主任代理) ・電話： 082(424)6265 ・住所：〒739-8527 東広島市鏡山1-4-2 ・Eメール：nanotech @ hiroshima-u.ac.jp ・ホームページ：http://home.hiroshima-u.ac.jp/nanotech/ 　 ・山口大学（産学公連携・イノベーション推進機構　 産学公連携支援部門）のホームページはこちらからです。	微細シリコンMOSトランジスタ設計・製作装置一式（電子ビーム露光装置、エッチャー、 イオン注入、CVD装置、スパッタ装置、酸化・拡散炉等、クラス10スーパークリーンルームに設置） 装置詳細につきましては、 「広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所装置一覧」 をクリックして下さい。 「 山口大学（産学公連携・イノベーション推進機構　 産学公連携支援部門）装置一覧」 をクリックして下さい。

● 申請方法	● 支援実績： 　　第1期のナノテク支援プロジェクト（2002-2006）
以下のいずれかの書式をダウンロードして御記入の上、 ナノテクノロジー・ネットワークプロジェクト係宛に郵送またはFAXにてお送り下さい。 平成21年度版申請書類は下記のファイルから印刷してご使用下さい。 □WORD版はここをクリック □PDF版はここをクリック	□ 平成20年度はここをクリック □ 平成19年度はここをクリック □平成18年度はここをクリック □平成17年度はここをクリック □平成16年度はここをクリック □平成15年度はここをクリック □平成14年度はここをクリック

● ナノテクノロジー・ネットワーク プロジェクト支援状況

平成21年度支援実績

● 活動

□2009年3月17日東京TFTホールのMEMS　ENGINEERING　FORUMに出展
□2007年8月9日　広島大学にて　ICT(Information Communication technology)人材育成プロジェクト実習
□2007年7月21日　広島大学にて　SSH(Super Science Highschool)実習 　　
□2006年9月22日　広島大学にて　極微細加工・造形スクール広島大学実習 　　
□2005年11月25日　早稲田大学にて 極微細加工・造形支援グループワークショップ2005 　　
□2005年10月18日　東京都立産業貿易センター浜松町館にて 広島大学リエゾンフェア2005in東京

● リンク

□山口大学（産学公連携・イノベーション推進機構　産学公連携支援部門）　　
□広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所　　
□文部科学省ナノテクノロジーネットワークセンター

● 提供サービス

本年度は随時公募を行い、審査の上採択課題について支援業務を行う。

• 共同研究：電子ビーム露光装置を利用した微細シリコントランジスタの設計・製作技術をベースとする 共同研究。ナノ構造パターン設計から、プロセス設計、薄膜形成・ナノ構造加工・不純物導入等により超微細な ナノ構造デバイス試作までを一貫して支援する。また、試作の過程および最終的に完成した段階で、電子顕微鏡 ・AFM観察等により構造評価を行う。
• 技術相談：当研究所の教授・准教授陣が、ナノ細構造形成プロセス・デバイスに関する技術相談に応じる。
• 技術代行：簡単な構造の試作に関しては、可能な範囲で技術代行に応じる（ただし、共同研究を優先する）。
• 装置の利用機会提供：当該装置の操作に十分な知識と経験を有する場合に限り可能な限り実施する。