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応用物理学会 薄膜・表面物理分科会・シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会

「電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」(第22回)
(旧 「ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」)

協賛:日本物理学会,日本化学会,日本金属学会,日本表面科学会,電子情報通信学会,電気学会,触媒学会,日本真空協会、電気化学会,表面技術協会,日本顕微鏡学会,日本セラミックス協会,精密工学会

日時: 2017年1月20日(金)~21日(土)。前日(19日)の夜に,チュートリアルを実施。
開催場所: 東レ研修センター(静岡県三島市)

 投稿締め切りを 11/7(月)まで延長いたしました。