主な装置たち
試料作成装置
電子ビーム露光装置 １台
STM/AFM
１台
真空蒸着装置
３台
フォトリソグラフィー装置 １式
反応性イオンエッチング装置 １台
ノマルスキー顕微鏡 １台
簡易クリーンルーム
測定装置
希釈冷凍機
１台
精密電気抵抗測定装置 一式
シールドルーム
２室
●このほかに低温センター共同利用施設が
使用できます。超伝導磁石、3He冷凍機、
希釈冷凍機 など。
詳しくは、低温センターのホームページを
ご覧ください