研究設備　　　　Facilities

Dilution refrigerator（x 2）, 3He装置　１台,  超伝導磁石　マイクロ波測定装置　抵抗測定装置

電子線描画装置（ｘ2 台），  e-Gun 蒸着装置　抵抗加熱蒸着装置　マグネトロンスパッタ

反応性イオンエッチング装置　熱CVD装置　水素酸素アニール装置　ワイヤーボンダー　

原子間力顕微鏡（AFM）