YAGI Group の専有研究設備　

電子線描画装置　Elionix ELS-3300 TFE emitter　　表示装置改造済	電子線描画装置　Elionix ELS-6900 LaB6 emitter
横型炉　結晶育成及び熱CVD用 手前の炉はアニールにも用います	原子層転写装置 初代機　このほかに２台あります
水素（空気）アニール装置 シリコン基板などの表面処理をします	グローブボックス　2台 左はへき開場所　右は原子層転写装置
ドラフトチェンバーおよびケミカル処理場	３連式e-gun＋抵抗加熱　蒸着装置
抵抗加熱蒸着装置 マグネトロンスパッターにもなる	フォトリソグラフィー関連機器
プラズマエッチング装置 ガス　　CF4, Ar, O2	希釈冷凍機システム　その１ 超電導磁石　奥　９T,　手前　６T
原子間力顕微鏡）　Topometrix Computer interface改造済	３heliumシステム 手前にあるのは希釈冷凍機本体

その他