TEMでできること
組織観察
試料の形状、分散状態、膜厚、微細組織等をナノメートルオーダーで明らかにできます。本センターのTEMはCCDを装備しておりますので、依頼者と一緒に観察・分析できます。
結晶構造に関する情報
電子回折図形を用いて、結晶・非結晶の判別、結晶であれば単結晶・多結晶の判別、さらには各面間隔と面角の関係から結晶を同定可能です。隣接する結晶の方位関係を調べたり、格子欠陥や転位の有無などから結晶の形成過程を考察することも可能です。
化学組成分析
付属のEDSを用いて極微小領域の化学組成分析ができます。試料の種類・状態にもよりますが、直径10nm程度といった極めて狭い範囲の化学組成を知ることできます。化学組成分析用のBeホルダーを用いれば、試料の化学組成をより精密に知ることができます。標準試料をご用意して頂ければ定量分析も可能です。但し、TEMの定量分析は簡単ではなく、うまく行かない場合もあります。まずはご相談下さい。