修理（TMP交換）日程について（2月21日(水)） ツイート TMP（ターボ分子ポンプ）の故障のため装置停止ではご迷惑をお掛けしております。 TMP交換日程が以下の通りに決まりました。 2月21日(水) 交換後、2月22日(木)から利用できる予定です。 « 修理日程について 9月14日・9月15日
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