TMP 交換完了 ツイート 2月21日(水)にTMP(ターボ分子ポンプ)の交換が完了しました。 現在、装置の利用は可能となっています。 « TMP交換日程:2月21日(水) 利用料金の値上げ(3月1日(金)〜) »
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